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GB51034-2014多晶硅工厂设计规范.pdf
2020-11-11 14:21:41
规范状态：现行
文件大小：未知
文件格式：pdf
实施日期：2015-05-01
分享会员：夏****′
上传日期：2020/11/11
修改日期：2020/11/11
类别：工程建设国家标准（GB）
专业：勘察设计
标准类别：建筑设计
适用对象：建筑师
适用范围：本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计，也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
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